新专利技术亮点：玻璃基板稳压喷盘装置

2025年2月，泰科思特正式获得“一种玻璃基板稳压喷盘装置”专利授权，标志着其在玻璃基板加工设备领域的又一突破。该装置已集成于泰科思特成套湿制程设备（显影线、蚀刻线、去膜线等），服务于AI芯片、高带宽内存等先进封装领域，为行业终端客户的玻璃基板量产计划提供关键设备支持。

该专利聚焦玻璃基板湿制程关键环节，通过以下创新解决行业痛点： 

1. 动态压力闭环控制

   - 通过传感器实时监测流体压力波动，结合智能算法调整喷盘输出压力，确保化学药液或清洗液在显影、蚀刻等湿制程喷淋过程中不同板面位置压力均匀一致，提升微线路加工精度（线宽/线距达微米级）以及微细线路中板面均匀性。 

   - 解决玻璃基板由于板面冲击应力不均导致的边缘脆性断裂问题，良率显著提升。 

2. 抗干扰与节能设计

   - 针对玻璃基板脆性特性，优化喷盘机械结构、管路设计，减少药液压力波动对线路稳定性的影响，提升加工良率至行业前列。

技术优势：从设备到生态的全链条突破

泰科思特在玻璃基板设备领域的技术积累已形成多维竞争优势： 

1. 湿制程设备全流程覆盖

   2024年7月，首套Glass Core玻璃基板湿制程成套设备成功交付，涵盖显影、蚀刻、去膜等核心环节，实现行业领先的全套成熟湿制程设备供应能力。 

2. 实验室驱动工艺创新

   依托自建实验室，联合客户完成工艺测试与验证，积累了大量关键数据，加速玻璃基板从研发到量产的转化。 

3. 全球化布局与产业链协同

   分支机构覆盖韩国、东南亚等地，国际化团队占比15%，深度协同显示面板、半导体封装产业链，推动玻璃基板技术商业化进程。

行业价值与未来展望

1. 赋能先进封装

   玻璃基板凭借高平整度、低热膨胀系数等特性，成为AI芯片、先进封装的核心材料。泰科思特的稳压喷盘技术可显著提升加工良率，助力客户抢占高性能算力市场先机。

2. 推动国产替代

   泰科思特通过自主创新突破技术前沿，加速国产设备在半导体产业链中的渗透，提升供应链自主可控性。

3. 前瞻布局未来

   随着业内众多厂商计划2026年量产玻璃基板封装，泰科思特将持续加码研发，拓展产品技术能力，迎接新一代基板技术革命。

结语

泰科思特以“技术为源，服务为核”的理念，持续突破玻璃基板设备技术边界。新专利的发布不仅是技术实力的彰显，更是为杰出技术升级做好服务的坚定承诺。未来，泰科思特将继续以创新驱动，为客户提供更尖端、更优质的设备解决方案！ 

立足中国，服务全球——泰科思特，让制造更精密，让技术更卓越！